테스는 기판처리장치 관련 특허를 취득했다고 7일 공시했다. 회사 측은 이 특허에 대해 “이 발명에 따른 기판처리장치가 적용된 식각장치, 증착장치 및 태양전지 제조장치에서는 식각부산물 또는 파티클이 챔버를 오염시키는 것을 효과적으로 방지할 수 있다”고 설명했다.
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테스, 기판처리장치 관련 특허 취득
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