[공시]테스, 가스분사장치 특허권 취득

입력 2011-08-09 11:51

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김지호 기자

테스는 9일 박막의 증착균일도가 보장될 수 있고, 가스분사플레이트와 기판 사이의 간격을 일정하게 유지할 수 있다는 장점이 있는 가스분사장치 특허를 취득했다고 밝혔다.

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