테스는 10일 저온 화학기상증착에 의한 산화막 증착 방법에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 “이번 특허를 장비 개발 및 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화에 활용할 계획이다”고 설명했다.
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[공시]테스, 산화막 증착 방법 특허권 취득
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