테스는 19일 플라즈마 발생용 전극 및 플라즈마 발생장치 특허권을 취득했다고 공시했다.
테스 관계자는 “이번 특허는 박막태양전지 제조장치와 관련된 것으로 특허기술을 태양전지 장비에 적용해 기술경쟁력 및 원가경쟁력을 향상시키고 장비 개발 및 제조에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
이 관계자는 “이번 특허의 기술을 적용하면 ▲전극의 반사계수를 최소화시켜 반사파의 발생을 억제하고 ▲정상파의 노드 발생을 방지하여 고주파 신호에 의해 균일한 밀 도의 플라즈마를 발생시킬 수 있는 효과를 볼 수 있다”고 설명했다.
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