주성엔지니어링은 20일 플라즈마 감지장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
회사측은 "이번 특허 기술은 웨이퍼와 동일한 관점에서 플라즈마의 이상유무를 감지할 수 있고, 동일한 시간에 모든 탐침을 통해 챔버 내부의 플라즈마 이상유무를 실시간으로 감지하는 것이 가능하다."고 밝혔다.
e스튜디오
주성엔지니어링, 플라즈마 감지장치 특허 취득
- 대표이사
- 황철주, 이우경, 황은석(3인 각자대표이사)
- 이사구성
- 이사 7명 / 사외이사 4명
- 최근 공시
- [2025.12.15] 주주명부폐쇄기간또는기준일설정
- [2025.12.15] 주식등의대량보유상황보고서(일반)
주요뉴스
많이 본 뉴스
-
- 1.
- '골 때리는 그녀들' 오늘(17일) 결방⋯개편 위해 휴지기 "1월 14일 커밍순"
-
- 2.
- '2TV 생생정보' 오늘방송맛집- 가수 신성 추천! 간장게장 코스요리 맛집 '일○○'
-
- 3.
- [내일 날씨] 한풀 꺾인 겨울 추위…낮 최고 14도
-
- 4.
- H사 중대재해 발생...부산오페라하우스 현장서 추락사
-
- 5.
- '징역 4년 구형' 권성동 "통일교 득표 활동, 정상적인 선거운동"
-
- 6.
- “땅 싸게 팔지 말라” 대통령 지시에 용산국제업무지구 개발 속도 빨간불 켜지나[르포]
-
- 7.
- [급등락주 짚어보기] 한화갤러리아, 오너 일가 한화에너지 지분 매각 소식에 上
-
- 8.
- 위기의 트럼프, 17일 밤 대국민 연설…3가지 관전포인트는
-
- 9.
- 두산에너빌리티, 국내 첫 SMR 전용 공장 건설 "연 20기 생산"
-
- 10.
- '나는 솔로' 29기 옥순, 영수와 최커 냄새 솔솔⋯눈치 제로 광수 "내가 1순위"
뉴스발전소
