피에스케이는 18일 순간 정전이 발생했을 때에도 정상적인 공정을 처리하도록 하는 반도체 제조설비에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
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피에스케이, 반도체 제조장치 관련 특허취득
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