파이컴, 폴리머 마스크 수리방법 특허 취득

입력 2008-10-28 13:48

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최양규 기자

파이컴은 폴리머 마스크의 수리방법에 대한 특허를 취득했다고 28일 밝혔다.

회사측은 "이 기술은 레이저를 이용한 미세가공 기술을 이용해 반도체 , PCB 등의 노광용 마스크를 자동을 수리하는 장치 및 방법으로 포토마스크 제조에 따른 결함 발생에 능동적으로 대처할 수 있다"고 전했다.

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