테스는 12일 기판처리장치 국내 특허를 취득했다고 공시했다.
테스는 “해당 특허에 따른 기판처리장치는 챔버의 외측을 향해 복수의 오링을 순차적으로 배치하고, 복수의 오링들 사이에 별도의 버퍼공간을 마련한다”며 “이러한 버퍼공간에 미리 설정된 압력의 보호유체를 공급함으로써, 오링에 작용하는 압력을 줄여 오링의 손상 및 파손을 방지하고 오링의 수명을 늘릴 수 있다”고 설명했다.
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테스, 기판처리장치 특허 취득
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