테스, 가스공급유닛 관련 특허 취득

입력 2020-05-07 17:45

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윤기쁨 기자

테스는 가스공급유닛 관련 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사 측은 "대면적 기판에 대한 각종 처리공정을 수행하는 기판처리장치에 있어서 처리모드에 따라 기판처리장치의 내부로 각종 가스를 공급하는 경우에 가스를 균일하게 기판처리장치의 내부에서 분산시킬 수 있는 가스공급유닛에 대한 것"이라고 밝혔다.

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