테스는 박막증착장치와 기판처리장치에 관련된 특허를 각각 취득했다고 6일 공시했다. 회사 측은 향후 활용계획에 대해 "장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 것"이라고 밝혔다.
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테스, 박막증착 및 기판처리 장치 관련 특허 취득
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