테스는 원자층증작법을활용한 박막증착장치에 대한 한국 특허권을 취득했다고 3일 공시했다. 해당 특허는 기판에 대한 박막을 증착할 때 원자층증작법을 통해증착되는 막 두께의 균일도를 향상시키기 위한 기술이다.
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테스, 박막증착 장치 관련 특허 취득
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