엘오티베큠, 반도체 및 디스플레이 제조 공정 관련 특허 취득

입력 2008-08-25 13:52

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조슬기 기자

엘오티베큠은 25일 반도체 및 디스플레이 제조장치의 공정 쳄버를 진공화시키거나 공정 쳄버에서 발생한 기체 상태의 물질이나 공정부산물을 외부로 배출시키기 위한 루츠로터와 스크루로터 복합건식진공펌프에 관한 특허를 취득했다고 공시했다.

(주)엘오티베큠 (083310)
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