테스는 7일 박막증착장치 관련 특허권을 취득했다고 공시했다. 회사 측은 박막증착장치 중 기판지지핀에 대한 특허권으로 향후 장비 제조시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력 강화할 예정이라고 밝혔다.
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테스, 박막증착장치 관련 특허권 취득
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