테스는 27일 반도체 장비에 적용되는 기술인 ‘기판식각장치의 기판 식각 제어방법’ 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사는 “연속적인 식각 공정을 수행하는 경우에 기판 안착부를 로드 포트에서 분리하지 않고, 연속적으로 식각 공정을 수행할 수 있게 돼 식각 공정의 쓰루풋을 현저히 향상시킬 수 있다”고 설명했다.
테스는 향후 장비 제조 시 해당 특허기술을 적용해 제품경쟁력을 강화할 방침이다.
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테스, 반도체장비 적용 특허권 취득
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