싸이맥스는 지난 1일 EFEM 제조공정방법 및 EFEM 제조공정설비 기술 관련 특허를 출원했다고 4일 공시했다. 회사 측은 “특허기술을 적용해 EFEM 제조공정의 효율성을 증대할 것”이라고 밝혔다.
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싸이맥스, EFFM 제조 기술 관련 특허 출원
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