로체시스템즈, 웨이퍼 맵핑방법 특허취득

입력 2007-12-12 10:09

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이채용 기자

로체시스템즈는 변위센서를 이용한 웨이퍼 맵핑방법 특허를 취득했다고 12일 공시했다.

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