케이씨텍은 27일 슬릿형 노즐을 가지는 혼합 유체 분사 기구와 관련해 특허를 취득 했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "이번 발명은 기판세정용 이류체 분사기구에 관한 것으로, 공기와 세정액을 혼합공간에서 균일하게 혼합한 후 슬릿을 통해 기판에 분사함으로써, 기판 전체를 균일하게 세정할 수 있는 효과를 가진다"고 설명했다.
케이씨텍은 27일 슬릿형 노즐을 가지는 혼합 유체 분사 기구와 관련해 특허를 취득 했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "이번 발명은 기판세정용 이류체 분사기구에 관한 것으로, 공기와 세정액을 혼합공간에서 균일하게 혼합한 후 슬릿을 통해 기판에 분사함으로써, 기판 전체를 균일하게 세정할 수 있는 효과를 가진다"고 설명했다.