프로텍, 반도체칩 제조용 디스펜싱 방법 특허 취득

입력 2006-12-15 14:30

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김정화 기자

프로텍은 15일 반도체칩 제조용 디스펜싱 방법 및 그 디스펜서 장치과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

프로텍 관계자는 "압전소자를 이용한 반도체칩 제조용 디스펜싱 방법 및 그 디스펜서 장치에 관한 것으로서 간단한 구조에 의해서도 정밀하고 신뢰성 있는 디스펜싱 작업이 가능한 특허"라고 설명했다.

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