코닉시스템, 투명창 자동세척장치 구비 레이저 결정화 장치 특허 취득

입력 2006-11-29 15:37

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김정화 기자

코닉시스템은 29일 투명창 자동세척장치를 구비하는 레이저 결정화 장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

코닉시스템 관계자는 "본 발명에 의하면, 투명창을 챔버로부터 분리하지 않고 세척할 수 있게 된다. 따라서 레이저 열처리 장치의 유지 관리가 편리하고, 양산공정에서 투명창의 세척에 의한 공정 중지 시간을 최소화할 수 있게 된다."고 설명했다.

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