주성엔지니어링은 7일 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
주성엔지니어링 관계자는 "이번 발명은 작은 공간을 차지하면서도 컨트롤러들의 유지, 보수가 용이한 이동식 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈에 관한 것" 이라고 설명했다.
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주성엔지니어링, 컨트롤러 모듈 관련 특허 취득
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