주성엔지니어링, 컨트롤러 모듈 관련 특허 취득

주성엔지니어링은 7일 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

주성엔지니어링 관계자는 "이번 발명은 작은 공간을 차지하면서도 컨트롤러들의 유지, 보수가 용이한 이동식 반도체 제조장치의 컨트롤러 모듈에 관한 것" 이라고 설명했다.


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