라셈텍, 글라스기판 온도제어용 근접 블로우 특허 취득

입력 2006-10-23 13:37

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김정화 기자

라셈텍은 23일 글라스기판 온도제어용 근접 블로우와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

라셈텍 관계자는 "공조시스템을 이용한 글라스기판의 정밀온도제어를 위한 장치 및 방법"이라고 설명했다.

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