케이씨텍은 18일 준위 감지 장치 및 이를 이용한 세정 장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "본 발명은 웨이퍼 세정과정에서 약액 공급량을 측정하는 준위감지에 관한 것으로, N2가스를 주입하여 준위를 감지하는 과정에서 약액내 발생된 기포를 완전히 배기함으로써, 기포로 인한 공정불량을 방지할 수 있도록 한 준위감지장치 및 이를 이용한 세정장치에 관한 것"이라고 설명했다.
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케이씨텍, 준위 감지 장치를 이용한 세정 장치 특허 취득
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