주성엔지니어링, 美 뉴욕주립대 올버니 나노텍 캠퍼스에 반도체 장비 공급

주성엔지니어링은 미국 뉴욕주립대 나노스케일 과학ㆍ공학대(CNSE)의 올버니 나노텍 캠퍼스에 반도체 장비를 공급한다고 23일 밝혔다. 이 장비는 CNSE와 SUNYIT의 차세대 반도체 공동개발을 위한 집적회로 생산공정에 사용한다.

주성의 식각장비(Genaon Plus) 는 신소재 금속층을 제거하는 핵심 공정을 포함한 업계 최초의 장비로 알려져 있다. 이 첨단 장비는 반도체칩 효율을 개선해 미래 생산공정의 표준이 될 것으로 회사 측은 전망했다.

주성은 장비 공급과 더불어 최첨단 기술 요구 기준에 맞는 혁신적인 식각 및 봉지 기술을 개발하기 위해 CNSE와 협력하기로 했다.

마이클 리어 CNSE 혁신 기술 담당 부사장은 “주성엔지니어링이 글로벌 반도체 산업을 선도하는 우리 연구팀에 합류한 것은 쿠오모 뉴욕 주지사가 세계 반도체 기술의 파워하우스 구축을 위해 지속적으로 노력한다는 것을 보여준다” 며 “이번 협력으로 상호 시너지 효과를 내는 제휴관계가 예상된다”고 말했다.

황철주 주성엔지니어링 대표는 “당사와 CNSE의 협업은 전 세계 반도체 업체들에 지대한 영향을 미칠 수 있을 것” 이라며 “주성이 공급하는 장비는 세계 최초로 차세대 반도체의 새로운 금속물질의 식각 및 증착을 위한 완벽한 솔루션을 제공한다”고 강조했다.

한편, 주성엔지니어링 관계자는 “지난 주 국내 반도체 제조업체로부터 약 60억원 이상의 신규 수주를 추가로 받는 등 수주상황이 개선되고 있다”며 “2년 전 세계 최초로 개발한 공간분할 플라즈마 화학증착장비와 함께 올해 반도체장비 부문의 성장세가 가속화 될 것으로 기대한다”고 말했다.