케이맥은 중에너지 이온빔 산란을 이용한 분광분석기 특허를 취득했다고 19일 공시했다.
회사 측은 "세계 최초 반도체 극초박막 분석기기인 'Nano-MEIS' 장비에 적용해 수 나노 사이즈에 해당하는 박막의 두께를 원자층의 두께분해능으로 측정하는데 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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케이맥, 분광분석기 관련 특허취득
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