입력 2013-09-11 09:24
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로보스타는 11일 칩 검사장비의 빛 누출방지장치와 압전소자 패키지의 리크 검사용 패키지의 정렬, 공급 및 회수장치, 압전소자 패키지의 리크검사용 패키지의 검사장치 등 3종의 특허권을 취득했다고 공시했다.