탑엔지니어링은 플라즈마 데미지 프리 스퍼터 건 및 이를 구비한 스퍼터 장치와 이를 이용한 플라즈마 처리장치 및 성막 방법에 관한 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
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