테스는 표면조도를 이용해 플라즈마를 제어할 수 있는 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.
회사 측은 "장비 제조시 특허기술 적용을 통한 경쟁력 강화에 나설 방침"이라고 밝혔다.
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[공시]테스, 기판처리장치 관련 특허 취득
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