케이씨텍, 기판세정용 이류체 관련 특허

입력 2006-09-18 12:11

김정화 기자

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케이씨텍은 18일 기판세정용 이류체 분사모듈 및 이를 이용한 기판세정장치와 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.

케이씨텍 관계자는 "본 발명은 기판세정용 이류체 분사모듈에 관한 것으로, 건조공기가 유입되는 구간에 수회의 굴곡 구간을 두어 압력을 안정화함으로써, 균질한 이류체를 생성하여 세정효율을 향상시킬 수 있도록 한 것"이라고 설명했다.

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