케이씨텍은 6일 케미컬 공급장치 및 그 공급방법과 관련해 특허를 취득했다고 밝혔다.
케이씨텍 관계자는 "본 발명은 기판세정용 케미컬 공급장치 및 공급방법에 관한 것으로, 단일탱크를 사용하여 케미컬을 재사용함으로써, 공간활용성이 뛰어나고 케미컬의 남용을 방지할 수 있도록 한 것"이라고 설명했다.
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케이씨텍, 케미컬 공급장치 관련 특허 취득
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