디엠에스는 4일 도킹형 기판 이송 및 처리 시스템과 그를 이용한 이송 및 처리방법 특허를 취득했다고 밝혔다.
디엠에스 관계자는 “본 발명은 기판의 처리라인과 세정, 건조라인을 기판 이송부재에 의하여 도킹방식으로 서로 연결한 도킹형 기판 처리장치에 관한 것으로, 이를 통하여 기판의 이송 및 처리효율을 극대화 할 수 있다.”고 설명했다.
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디엠에스, 도킹형 기판 이송 관련 특허 취득
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