아이피에스, 특허 취득 공시

입력 2006-08-08 16:21

김정화 기자

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아이피에스는 8일 박막증착용 반응용기 특허를 취득했다고 공시했다.

아이피에스 관계자는 "본 발명은 박막증착용 반응용기에 관한 것으로서, 반응용기에 장착되는 샤워헤드가 피딩부 하부에 순차적으로 결합되는 상부확산블록과, 중간확산블록과, 하부확산블록으로 구성되며, 이들 확산블록들의 결합을 통해 그 내부에 방사상으로 대칭되게 복수의 메인 유로 및 이 메인 유로와 연결되는 다수의 서브 유로들이 형성됨으로써, 피딩부에서 공급된 복수의 반응가스들이 샤워헤드에 형성된 메인 및 서브 유로들을 통해 기판 상으로 고르게 분사되므로, 기판상에 고순도 및 우수한 전기적 특성과 스텝 커버리지를 가지는 박막을 효과적으로 증착할 수 있다."고 설명했다.

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