코닉시스템은 8일 LCD 기판의 합착장치 및 그를 이용한 기판 처킹방법 특허를 취득했다고 공시했다.
코닉시스템 관계자는 "본 발명은, 지지대와 같은 별도의 기계적인 장치가 필요 없고, 기판의 파손이 방지되며, 처킹 방식의 변경이 용이하며 연속 동작으로 이루어지므로 공정시간을 줄일 수 있고 기계적인 장치가 챔버내에 존재하지 않음으로 챔버의 구조를 간소화 할 수 있으며, 그로 인해 파티클로 인한 오염도 줄일 수 있다."고 설명했다.
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