주성엔지니어링은 19일 박막 제조용 가스 분사 장치 및 이를 포함하는 박막 제조장치에 대한 특허를 취득했다고 공시했다.
회사측은 특허 기술을 이용해 반도체 사업의 경쟁력을 강화할 것이라고 밝혔다.
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주성엔지니어링, 박막 제조장치 특허권 취득
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