원익IPS는 10일 샤워헤드 및 이를 이용한 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 “반도체 제조 장치 내부를 세정하기 위한 세정가스 공급수단에 대한 특허권”이라며 “향후 생산성을 높이기 위해 반도체 장비에 적용할 예정”이라고 말했다.
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