테스는 기판처리장치와 관련된 특허를 취득했다고 19일 공시했다. 회사 측은 이 특허에 대해 “복수의 배기공이 선택적으로 개방됨으로써 배기 방향이 조절 가능하게 돼 공정 균일도를 향상시킬 수 있다”며 “장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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[공시]테스, 기판처리장치 관련 특허 취득
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