[공시]원익IPS, 진공처리장치 샤워헤드 특허권 취득

입력 2011-07-01 10:39

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원익IPS는 1일 대형화되고 있는 액정표시장치(LCD)용 기판 등을 처리할 수 있는 진공처리장치의 샤워헤드에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

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