입력 2011-01-21 11:22
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테스는 플라즈마 발생장치에 대한 특허권을 취득했다고 21일 밝혔다.
회사측은 "태양전지 제조장치와 관련된 것으로 본 특허기술을 장비 개발 및 제조에 활용하고 기술경쟁력 및 원가경쟁력을 향상시킬 계획"이라고 말했다.