엘오티베큠은 27일 복합건식진공펌프 관련 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사측은 "반도체를 비롯한 LEDㆍOLEDㆍLCDㆍ태양광등 디스플레이용 제품에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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[공시]엘오티베큠, 복합건식진공펌프 관련 특허 취득
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