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[주담과 Q&A] 에프에스티 “삼성전자 전략 EUV 펠리클 개발중…2020년 대량생산체제 목표”
입력 2017-11-01 10:20

삼성전자가 전일 컨퍼런스콜을 통해 첨단 EUV(극자외선) 인프라 구축을 반도체부문 차세대 성장동력으로 구축하겠다고 밝혔다. 이와 동시에 펠리클 제조업체 에프에스티의 주가가 상승세다.

에프에스티는 전일 종가 기준 4.15% 오른 4265원에 거래를 마쳤다. 장중 주가는 16% 오른 4750원까지 치솟았다. 이 회사는 EUV 생산공정에서 핵심부품으로 알려진 펠리클을 생산하고 있다. 앞선 단계에서 삼성전자와 거래를 진행해왔기 때문에 EUV 펠리클 공급에 대한 기대감이 반영된 것으로 풀이된다.

금융감독원 전자공시시스템에 따르면 펠리클의 경우 국내에서는 에프에스티가 유일한 제조업체다. 2016년 기준 내수시장 점유율은 약 80% 정도이다. 삼성전자의 관련 부문 투자 확대가 예상되는 가운데, EUV 펠리클 개발 현황을 들어봤다.

Q. EUV 펠리클 개발 상황은?

A. 현재 개발 중으로 여러 가지 소재를 가지고 연구ㆍ양산하는 단계에 돌입했다. 당초 계획대로 올해 개발을 어느 정도 완료하고, 2018~2019년 시제품 생산을 계획하고 있다. 장기계획인 만큼 2020년 대량생산체제 구축을 목표로 하고 있다.

Q. 기존 펠리클 대비 장점은?

A. 기본적으로 펠리클이라고 하면 투과율이 제품의 가장 중요한 성능이다. 빛을 깨끗하게 통과해야 불량을 막아줄 수 있다. 현존 우위하는 기존 제품의 투과율은 80%선이다. EUV는 극미세화를 통해 투과율을 90%까지 올릴 수 있다. 단순히 투과율 올리는데 그치는 것이 아니라 빠른 속도로 패턴을 그리는 광원의 발열을 견딜 수 있는 소재여야 한다. 화학물질을 결합해 막을 만들고 있으며 실리콘, 그라핀 등 다양한 소재로 개발하고 있다.

Q. 경쟁업체 대비 우위는?

A. 전 세계적으로 EUV 펠리클의 개발 단계는 아직 없다. 선도적으로 진입하는 업체가 가장 빠르게 시장을 잠식할 수 있다. 노광장비 자체가 몇천 억대 장비다. 소재를 바꾸기 위해 신중하게 테스트 단계를 거쳐야 하기 때문에 대체하기도 쉽지 않다. 진입장벽이 높다.

펠리클은 일본 업체에서 개발해 독점하다시피 시장을 잠식해 왔다. 국내에서는 당사가 최초로 펠리클을 개발해 틈새시장으로 들어갔다. EUV를 개발한다면 기존 펠리클의 경쟁력을 기반으로 빠르게 공정화할 수 있을 것으로 기대한다.

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