LG디스플레이 지원 논문, 과학저널 ‘네이처 커뮤니케이션즈’에 게재

입력 2020-02-13 10:03수정 2020-02-13 10:44

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연세대 심우영 교수 연구팀, 기존 공정 한계 극복 포토리소그래피 기술 개발

LG디스플레이는 산학 협력 차원에서 지원하는 연세대학교 심우영 교수 연구팀에서 수행한 연구 결과가 과학저널 네이처 커뮤니케이션즈 최신호에 게재됐다고 13일 밝혔다.

논문에는 유연하고 투명한 타입의 새로운 포토마스크를 이용해 기존의 포토마스크로는 불가능했던 크기의 초미세 패턴을 구현하는 포토리소그래피 기술 개발에 관한 것이다.

해당 기술은 LCD(액정표시장치)뿐만 아니라 OLED(유기발광다이오드)에도 적용 가능하다.

연구팀은 딱딱한 형태인 기존 포토마스크의 한계를 극복하기 위해 유연하고 투명한 타입의 새로운 마스크와 이를 사용하는 공정을 개발했다.

이를 통해 기존의 디스플레이용 노광장비로도 현재 만들 수 있는 크기의 100분의 1 수준에 해당하는 수십 나노미터의 초미세 패턴을 구현할 수 있게 했다.

LG디스플레이 관계자는 "유연한 재질의 마스크는 휘어진 기판에도 적용 가능해, 다양한 형태의 디스플레이 생산에 이바지할 가능성이 기대된다"고 설명했다.

본 논문의 공동 저자인 LG 디스플레이 장기석 박사는 "이번에 개발된 포토리소그래피 기술은 미래 디스플레이 기술 발전에 크게 기여할 수 있는 씨드(종자) 기술"이라고 강조했다.

한편, LG디스플레이는 2015년부터 디스플레이 산업의 발전을 위한 산학 프로그램인 ‘LG디스플레이-연세대 인큐베이션 프로그램'을 운영해오고 있다.

기업과 대학이 함께 디스플레이 기반 기술 및 제품들에 대한 아이디어를 모으고 산업화 관점에서 실현될 수 있도록 기획하고 연구 및 검증하는 프로그램이다.

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